Планапохроматический широкопольный микрообъектив F'=0.533, A=0.95 (V=-300x) |
Планапохроматический широкопольный микрообъектив F'=0.64, A=0.95 (V=-250x) |
Планапохроматический широкопольный микрообъектив F'=0.8, A=0.95 (V=-200x) |
Планапохроматический широкопольный микрообъектив F'=1.0, A=0.95 (V=-160x) |
В рамках работ по созданию инспекционного микроскопа для контроля изделий микроэлектроники нашими специалистами проведен расчет оптических схем сверхкороткофокусных планапохроматических объективов. Их линейное увеличение составляет 160x, 200x, 250x, 300x, а числовые апертуры составляют 0,95. Это сложнейшие прецизионные узлы. Такие объективы до сих пор не было в отечественной практике. Производство таких объективов требует использования самых передовых оптических технологий при изготовлении линз и привлечения (разработки) прецизионных юстировочных приспособлений. Задачи более чем серьезные, но и очень интересные.
Смотрите также: