Закончена работа по проектированию и изготовлению 2-х опытных образцов объектива для фотолитографии. Объектив имеет выдающиеся расчетные характеристики и качество изображения.
Специалистами нашего проекта в течение нескольких лет проводидись расчетные и проектные конструкторские работы совместно со специалистами из Кореи. Это был очень интересных и увлекательный диалог, касающийся не только текущего уровня оптико-механической отрасли, но и обсуждение будущего в приборостроении. Цифрового будущего, но все равно с ключевой ролью оптики. Нам кажется очень актуальной полученная в ходе исполнения этого совместного проекта информация. Ведь в нашей стране также намечено развитие отраслей, связанных с нанотехнологиями. Не без гордости можем признаться, что проект Labor-microscopes - на передовых позициях с точки зрения знаний и практического опыта в создании систем контроля современных изделий микроэлектроники.
Поскольку эта информация носит корпоративный характер, здесь приведены только результаты аберрационного расчета и чертеж общей компоновки конструкции (как говорится, "без подробностей"). Скажем только, что диаметры линз достигают 180 мм, а общий вес объектива более 30 кг.
Смотрите также: