Инспекционные металлографические микроскопы выполнены конструктивно с нижним расположением предметного стола, т.е. являются прямыми. Это, по сути, специализированные металлографические микроскопы, но имеющие специфические методические и параметрические отличительные особенности. Применяются для проведения экспресс анализа качества изделий микроэлектроники в процессе их изготовления и аттестации. Более широкое применение таких микроскопов - исследование непрозрачных структур металлов, сплавов и других объектов в отраженном свете.
Однако, основное применение инспекционных микроскопов – исследование топологии продукции микроэлектроники. Фотошаблоны, печатные платы, другие изделия микроэлектронной промышленности - вот основные объекты для инспекционных микроскопов. Топологические структуры изделий микроэлектроники имеют, зачастую, очень высокий контраст, чёткую структуру края, максимальный перепад освещённостей на границе контура. Эти объекты достаточно тонкие и лёгкие, что сочетается с их достаточно большими геометрическими размерами. С этими свойствами таких необычных объектов связаны особенности построения инспекционных металлографических микроскопов.
